等离子处理
通过Roll to Roll的表面处理设备使基材改质，提高紧密贴合性与亲水性。
设备规格
- 加工面 两面加工
- Film宽幅 Max 1550mm
- 真空度 133.3～13.33Pa
- Process Gas 最大5系統
Roll to Roll等离子处理设备规格
[草加事业所]
| - | 规格 | 备注 |
| 真空度 | 10-10`10-2 Torr | 133.3`13.33Pa i1atm=1.013~105Paj |
| 有效工程宽幅 | 1,550mm | - |
| 加工面 | 双面 | 不可单面处理 |
| 加工式样/加工时间 | Dp式样 / （最小）60s | - |
| Process Gas | MFC 1系统、（最大）5SLM | 最多可以增设至5系统 |
| 可运送的薄膜宽幅 / 厚度 | 254`1,550mm / 25`125ƒÊm | - |
| 卷芯长度 / 内径 | 280`1,752mm / 3 or 6inch | - |
| 卷直径 /重量 | （最大） 450mm / 370kg | （厚度为25μm时） ・3inch卷芯： 约5,800m ・6inch卷芯： 约5,000m |
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